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电子级氢氟酸

产品名称:电子级氢氟酸

产品用途:主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀刻。

包装规格:1000L IBC集装桶;200L桶;20L桶;5L加仑桶

包装储运要求:运输过程中避免撞击,防止阳光直射,储存于阴凉、通风仓库,保持容器密封。

物理性质: 为无色透明液体,呈弱酸性,有强烈的刺激性气味,强腐蚀。浓度50%的氢氟酸密度为1.157g/ml,在大气压下沸点为107℃,冰点为-46.3℃,常温下比热3.1J/g. ℃ ,18℃时,当量电导率为17.32Ω-1cm-1。与金属盐、氧化物和氢氧化物作用产生氟化盐,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
产品指标:

级别

UP-S级

UP级

EL级

项目 ITEM

单位UNIT

指标

指标

指标

含量ASSAY

%

49%±0.5

49%±0.5

49%±0.5

氟硅酸(H2SIF6)

mg/l

≤100

≤100

≤100

氯化物(CL)

mg/l

≤5

≤5

≤5

硝酸盐(NO3)

mg/l

≤3

≤3

≤3

磷酸盐(PO4)

mg/l

≤1

≤1

≤1

硫酸盐和亚硫酸盐

mg/l

≤5

≤5

≤5

色度 COLOR

HAZEN

≤10

≤10

≤10

颗粒(≥1.0μm)

Ea/ml

≤10

≤10

≤25

锂 Li

PPB

≤1

≤10

≤20

钠 Na

PPB

≤1

≤10

≤100

镁 Mg

PPB

≤1

≤10

≤100

铝 Al

PPB

≤1

≤10

≤100

钾 K

PPB

≤1

≤10

≤100

钙 Ca

PPB

≤1

≤10

≤100

铬 Cr

PPB

≤1

≤10

≤20

铁 Fe

PPB

≤1

≤10

≤100

钴 Co

PPB

≤1

≤10

≤20

镍 Ni

PPB

≤1

≤10

≤50

铜 Cu

PPB

≤1

≤10

≤20

锌 Zn

PPB

≤1

≤10

≤50

镓 Ga

PPB

≤1

≤10

≤20

钼 Mo

PPB

≤1

≤10

≤100

银 Ag

PPB

≤1

≤10

≤20

镉 Cd

PPB

≤1

≤10

≤50

锡 Sn

PPB

≤1

≤10

≤20

钡 Ba

PPB

≤1

≤10

≤100

铂 Pt

PPB

≤1

≤10

≤100

金 Au

PPB

≤1

≤10

≤20

锰 Mn

PPB

≤1

≤10

≤20

铅 Pb

PPB

≤1

≤10

≤50

铊 Ti

PPB

≤1

≤10

≤10


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