详细内容
产品名称:电子级氢氟酸
产品用途:主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀刻。
包装规格:1000L IBC集装桶;200L桶;20L桶;5L加仑桶
包装储运要求:运输过程中避免撞击,防止阳光直射,储存于阴凉、通风仓库,保持容器密封。
物理性质: :为无色透明液体,呈弱酸性,有强烈的刺激性气味,强腐蚀。浓度50%的氢氟酸密度为1.157g/ml,在大气压下沸点为107℃,冰点为-46.3℃,常温下比热3.1J/g. ℃ ,18℃时,当量电导率为17.32Ω-1cm-1。与金属盐、氧化物和氢氧化物作用产生氟化盐,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
产品指标:
级别 |
UP-S级 |
UP级 |
EL级 |
|
项目 ITEM |
单位UNIT |
指标 |
指标 |
指标 |
含量ASSAY |
% |
49%±0.5 |
49%±0.5 |
49%±0.5 |
氟硅酸(H2SIF6) |
mg/l |
≤100 |
≤100 |
≤100 |
氯化物(CL) |
mg/l |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
硝酸盐(NO3) |
mg/l |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
磷酸盐(PO4) |
mg/l |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
硫酸盐和亚硫酸盐 |
mg/l |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
色度 COLOR |
HAZEN |
≤10 |
≤10 |
≤10 |
颗粒(≥1.0μm) |
Ea/ml |
≤10 |
≤10 |
≤25 |
锂 Li |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
钠 Na |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
镁 Mg |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
铝 Al |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
钾 K |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
钙 Ca |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
铬 Cr |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
铁 Fe |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
钴 Co |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
镍 Ni |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
铜 Cu |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
锌 Zn |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
镓 Ga |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
钼 Mo |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
银 Ag |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
镉 Cd |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
锡 Sn |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
钡 Ba |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
铂 Pt |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
金 Au |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
锰 Mn |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
铅 Pb |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
铊 Ti |
PPB |
≤1 |
≤10 |
≤10 |
【返回】 |